中微公司迎第3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑

证券时报e公(gōng)司讯，近日，中微半导体设备（上(shàng)海(hǎ中微公司迎第3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑i)）股份有限公司（以下简称“中(zhōng)微(wēi)公司”）的电容(róng)耦合(hé)等离子(zi)体（CCP）刻蚀设备第3000台反应腔顺利付运国内一(yī)家先进的半(bàn)导体芯片制(zhì)造商。

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