积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年4月28日晚间，微导(dǎo)纳米公布2023年报及2024年一季报。2023年全年(nián)，公司实现营(yíng)业收入16.80亿元，同比增长145.39%。实现归母净利润2.70亿元(yuán)，同(tóng)比增长(zhǎng)399.33%。扣非归(guī)母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一季度，微导纳米(mǐ)营业收入达1.71亿元，同比增长125.27%；归母净(jìng)利润达357.34万元(yuán)，相比去(qù)年同期，实(shí)现(xiàn)扭亏为盈(yíng)，公司业务(wù)呈现(xiàn)高速增(zēng)长态势。

报告期内，得益于微导(dǎo)纳米在薄膜技术领域的不(bù)断(duàn)突破，以及公司在全球(qiú)化发展(zhǎn)和多(duō)元(yuán)化布局上的努力，微导纳米在实现(xiàn)产(chǎn)品工艺优化升级的同时，客户群体(tǐ)覆盖度也在(zài)进一(yī)步扩大，业务呈现良好发展态势、市场竞争力、运营(yíng)效率持续(xù)提升，有(yǒu)力推动了订单(dān)规模和经营业(yè)绩的(de)持续增长。

坚持ALD+CVD等镀膜平台化战(z积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%hàn)略，赋能多(duō)元化产业发展

微导纳米是一家面(miàn)向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制(zhì)造商。公积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心(xīn)，化学气相(xiāng)沉积（CVD）等多种真空薄膜技术(shù)梯次发展的技(jì)术平台体系，专注于先进微米级、纳米(mǐ)级薄膜设备的研发、生产与销售(shòu)，向(xiàng)下游(yóu)客(kè)户提供尖端(duān)薄膜设(shè)备、配套产品及服(fú)务。

长期以来(lái)，微导纳米坚持以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜技(jì)术梯次发展技术(shù)平台体系，凭借在新兴应用(yòng)领(lǐng)域的前瞻性战略布局，微导纳米开发(fā)的薄膜沉(chén)积(jī)技术及(jí)设备，目前已广泛运用于半导体、光伏(fú)及新兴应用(yòng)领(lǐng)域(yù)，并(bìng)取得亮眼表现。

在半导体(tǐ)领(lǐng)域(yù)，微导纳米构建了以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜技术(shù)梯次发展技术平台体系，公司半导(dǎo)体集成电路产品涵盖逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分(fēn)应用领域。在光伏领域，公司ALD设备的市场占有(yǒu)率保(bǎo)持领先，实现了对(duì)TOPCon产(chǎn)线真空类设备的全覆盖，并在XBC、HJT、钙钛矿、钙钛矿叠(dié)层等电池技术领(lǐng)域均有产品储备、布局和出货。在新兴应用领域，2023年，微导(dǎo)纳(nà)米已在光学、柔性(xìng)电子(zi)、车规(guī)级芯片等几个(gè)极具市场潜力的薄膜沉积技术应(yīng)用前沿领域开(kāi)始获得客户订单。

得益于ALD+CVD等镀膜平台(tái)化战略，微导纳米2023年(nián)成绩亮(liàng)眼。业绩报告显示，2023年(nián)，公司新增订(dìng)单总(zǒng)额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订(dìng)单(dān)），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产(chǎn)业化中心新兴应用领域(yù)在手订单0.50亿(yì)元。

下游业务迎(yíng)来突破性发展，微导纳(nà)米积(jī)极开拓(tuò)新兴市场应(yīng)用

在半导(dǎo)体领域，微导纳米是国内首家成功将量产型 High-k 原子层沉积(ALD)设备应用于集成电(diàn)路(lù)制造前道生产线的国产设备厂商。同时，2023年7月(yuè)，微(wēi)导纳米首台半导体CVD薄膜沉积设备顺利发货(huò)至客户端，旨在通过差异化策略开发出市场亟需的CVD领域高端设备，解决关键工艺的市场空白。

根据SEMI行业统计(jì)，ALD约(yuē)占半导体镀膜板块的11%~13%市场(chǎng)份额(é)，未来几年将保持高速增长，复合增长率(lǜ)高(gāo)达26.3%；CVD约占(zhàn)半导体镀膜板块的(de)57%市(shì)场份额，未来几年的复合增长率(lǜ)约为8.9%。

目前，微导纳米已经开发工艺包括HKMG技术、柱状电(diàn)容器、金属化薄膜沉(chén)积技术及(jí)高深宽比3D DRAM、TSV技术等，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等(děng)薄膜材料。

在光伏领域，2023年11月，微导(dǎo)纳米(mǐ)自(zì)主研发的钙钛矿晶硅叠层电池专用ALD量产设备(bèi)，顺利发(fā)至海外客户。2024年3月，微导纳米成功研发出首台适用于大面积百兆瓦钙钛矿电池生产的专用量(liàng)产型原子层沉积(ALD)设(shè)备，并已顺利发货至业(yè)内(nèi)领军企(qǐ)业。

值得一提的是(shì)，报告期内，微导纳米新增立项多项新兴产业应用项(xiàng)目(mù)，分布于柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能源等细分应用领域镀(dù)膜(mó)环节。截至目(mù)前，微导(dǎo)纳米自主研发(fā)的柔性电子(zi)二代机(jī)、应(yīng)用(yòng)于车规级芯片ALD设备以及首台光学(xué)领域(yù)镀(dù)膜设(shè)备已顺利发货，其(qí)中车规级芯片ALD设备(bèi)出口(kǒu)海外。2024年1月，微(wēi)导纳米创新研发的ALD量产(chǎn)设(shè)备顺利发往欧洲某头部(bù)芯片(piàn)封(fēng)装(zhuāng)客户，实现国产高(gāo)端(duān)设备出口海外。

图：薄膜沉积技术在部分新兴领域的应(yīng)用场景

微导纳(nà)米在财报中(zhōng)表示，公司将继续依托产(chǎn)业化应用中(zhōng)心(xīn)持续探索尖(jiān)端薄膜沉积技术在各新兴应用领域的发展机会，并逐步开展产品应用验证，持续(xù)推动新兴产业的(de)技术进(jìn)步。

持续加码技术研发，深挖(wā)薄膜沉积设(shè)备技术护城河

近年来，微导纳米以ALD技术为(wèi)核心的薄膜沉积技术领域形成了多(duō)项核心技术和(hé)科技成果，并成功将其应用于主营(yíng)业务，实(shí)现了科技成(chéng)果与产业(yè)的(de)深度融合(hé)。与此同时，微导纳米始(shǐ)终坚持自主创新、持续加大研发投入，持续(xù)探索技术边界，积极应对市场需求的(de)变化，不断拓宽并深化在产业前瞻领(lǐng)域的技术应用，力求实现更广(guǎng)泛(fàn)的技术创新与产业融合。

2023年，微导纳米研发投入3.08亿(yì)元，占营业收入比(bǐ)例达18.34%，其中约50%投向半导体领域，包括(kuò)逻辑、存储、新型显(xiǎn)示器、化合(hé)物半导体等项目；光(guāng)伏领域研发投向包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术等(děng)项目。研(yán)发(fā)队伍人员不(bù)断增加，研发人员达到429人，同比(bǐ)增长78.01%。

得益于(yú)公司对研发的重视及在研发投入上的不断加(jiā)码，2023年，微导纳米新增各类专利(lì)申请146项，新增专利授权35项，累计授权专利达(dá)到137项，逐步形成了薄膜沉积反(fǎn)应器设计技术、基于原子层(céng)沉积的高效电池技术、柔性材料制备技术、薄膜封装(zhuāng)技术等十大核心技术。

凭借坚持执行ALD+CVD等镀膜平台化战略，微导纳米(mǐ)正持续在(zài)新兴领域进行前沿化开发，为(wèi)公司未来发展创造更多收入增(zēng)长极。此外，在技(jì)术协同效(xiào)应进一步显现(xiàn)下，微导纳米(mǐ)通过跨行业的业务(wù)分布，拥有(yǒu)了较强(qiáng)的(de)穿越行业周期的能(néng)力，公司的抗风险能力(lì)得到进(jìn)一步提升。未来，随着其(qí)他(tā)新兴技术(shù)市场(chǎng)的发展，微(wēi)导纳米作为平台型的关键设备供应商的(de)优势将进一步显现(xiàn)。（齐和宁）

校对：苏焕文

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