积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年4月28日晚间，微(wēi)导纳米公布2023年报及2024年(nián)一季报。2023年全年，公司(sī)实现营业收入16.80亿元，同比增长145.39%。实(shí)现归母净利润2.70亿元，同比增长399.33%。扣非归母(mǔ)净利润1.88亿元，同比(bǐ)增长849.89%。

2024年一季(jì)度，微导纳(nà)米营业(yè)收入达1.71亿元(yuán)，同比增长125.27%；归母净利(lì)润达357.34万元(yuán)，相比去年同期，实现扭亏为盈，公司业务呈现高速增(zēng)长(zhǎng)态势(shì)。

报告期内，得(dé)益于微导纳米在薄膜技术领域的不断突破，以(yǐ)及公司在全球(qiú)化发展(zhǎn)和多元化布局(jú)上的努(nǔ)力，微导纳米(mǐ)在实现产品工艺优化升级的同(tóng)时，客户群体覆盖度(dù)也在进(jìn)一步扩大，业务呈现良好发(fā)展态势、市场竞争力、运营效率持续提升，有力推(tuī)动(dòng)了订单规模和经营业绩的持续增(zēng)长。

坚(jiān)持ALD+CVD等镀(dù)膜(mó)平台化战略，赋能多元化产业发展

微导纳米(mǐ)是一(yī)家(jiā)面向(xiàng)全球的(de)半导体、泛半导体高端微纳装备(bèi)制造商。公司(sī)形成了以原(yuán)子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的技术平台体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研(yán)发、生产与销售，向下游客户提供尖端薄膜设备、配套产品及服务。

长期以来，微导纳米坚持(chí)以ALD为(wèi)核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发(fā)展技术平台体系，凭借在新兴应用领域的(de)前瞻性战略布局，微导纳米开发的薄膜沉积技术及设备，目前已广泛运用于半导体、光伏及新兴应用领域，并取得亮眼表现。

在半导体领域，微导纳米构建了(le)以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯(tī)次发展技术平台(tái)体系，公司半导体集成电路产品涵盖逻(luó)辑、存储(chǔ)、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域。在光伏领域，公司ALD设备的市场占有率保持领先，实(shí)现了对TOPCon产线真空类设备的全覆盖，并在XBC、HJT、钙钛(tài)矿、钙钛矿叠层等电池技术领(lǐng)域均(jūn)有产(chǎn)品储备、布局和出货。在新兴应用领域，2023年(nián)，微导纳米已(yǐ)在光学、柔(róu)性电子、车规级芯片等几个(gè)极具市场潜力的薄膜(mó)沉积技术应用前沿领域(yù)开始获得客户订单。

得益于ALD+CVD等镀膜平台化(huà)战(zhàn)略，微(wēi)导纳米2023年(nián)成绩亮眼。业绩(jì)报告(gào)显示，2023年，公司新增(zēng)订单总额约64.69亿元(yuán)，是(shì)去年同期新增订单的2.96倍(bèi)。截止至2024年3月31日，公(gōng)司在手(shǒu)订单81.91亿(yì)元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在(zài)手订(dìng)单11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手(shǒu)订单0.50亿元(yuán)。

下游业(yè)务迎来突破性发展，微导纳米积极开拓新兴市场应用

在半导体领域，微导纳米是国内首家成功将量产型 High-k 原子层沉(chén)积(ALD)设备应用于集成电路制造前道生产线(xiàn)的国产设备厂商。同(tóng)时，2023年7月，微导纳米首台半导体CVD薄膜沉积设(shè)备顺利发货至客户端，旨(zhǐ)在通过差(chà)异化策略开发出市场亟需的CVD领域(yù)高端设备，解决关(guān)键(jiàn)工艺的(de)市场空白。

根据 SEMI行业统计，ALD约占半(bàn)导体(tǐ)镀膜板块的11%~13%市场(chǎng)份额，未来几年将保持(chí)高速增长，复(fù)合增长(zhǎng)率高(gāo)达26.3%；CVD约占半导体镀膜板块的(de)57%市场份额，未来几年的(de)复合增长率约为8.9%。

目(mù)前，微导纳米已经开发工艺包括(kuò)HKMG技术、柱状电(diàn)容器、金(jīn)属化薄膜沉积技术及高(gāo)深宽比3D 积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%DRAM、TSV技术等(děng)，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等(děng)薄膜材料。

在光伏领(lǐng)域，2023年11月，微导(dǎo)纳米(mǐ)自主研发(fā)的钙钛矿晶(jīng)硅叠层电池专用ALD量产(chǎn)设备，顺利发至海外客(kè)户。2024年3月，微导纳米成功研(yán)发出首(shǒu)台适用于大(dà)面积(jī)百兆瓦钙(gài)钛矿电池生产的专用量产型原子(zi)层沉积(ALD)设备，并已顺利发货至业内领(lǐng)军企(qǐ)业。

值得一提(tí)的是，报(bào)告(gào)期内，微导纳米新增立项多项新兴产业应用(yòng)项(xiàng)目(mù)，分布于柔性镀(dù)膜、芯片封装、光学超低(dī)减反膜沉积、新能源等细分(fēn)应用领域镀膜环节。截至目前，微导纳米自主研(yán)发的柔性电子二代机、应用于车规级芯片ALD设(shè)备(bèi)以及首(shǒu)台光学领域镀膜设备已顺利发货(huò)，其中车(chē)规级芯片(piàn)ALD设备出口海外(wài)。2024年1月，微导纳米(mǐ)创新研发的ALD量产设备顺利发往欧洲某头部芯片封(fēng)装客户，实现国产高端设备(bèi)出口海外。

图：薄膜(mó)沉积技术在部分新兴领域的应用场景

微导纳米在财报中表示，公司将继续依托产业化应用中(zhōng)心持续探索尖端薄膜沉(chén)积技术(shù)在各新兴应用领(lǐng)域(yù)的发展机会，并逐(zhú)步开展产品应用验证，持续推动新(xīn)兴产业的技术进步。

持续加码(mǎ)技术研发(fā)，深挖薄膜沉积设(shè)备技术护城河

近(jìn)年来，微导(dǎo)纳米以ALD技术(shù)为核(hé)心的薄(báo)膜沉积技术领域形成(chéng)了多项核心技术(shù)和科技成果(guǒ)，并成功(gōng)将其应用于(yú)主营业务，实现了科技成果与(yǔ)产业(yè)的深度融合。与此同时，微导纳米始终坚持自主创(chuàng)新、持续(xù)加大研发投入，持续探索技术边界，积极应对市(shì)场(chǎng)需求的变化，不断拓(tuò)宽(kuān)并深化在产(chǎn)业前瞻领域的技术应(yīng)用，力求实(shí)现更广泛的技术创新与产业融合。

2023年，微导纳米研发(fā)投入3.08亿(yì)元，占营业收入比例达18.34%，其中约50%投向半导体领(lǐng)域，包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；光(guāng)伏(fú)领域积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%(yù)研(yán)发投向包括(kuò)TOPCon、XBC、钙(gài)钛矿(kuàng)/钙钛(tài)矿叠层电池等新一代高(gāo)效(xiào)电池(chí)技术等项目。研发队伍人员不(bù)断增(zēng)加，研发人(rén)员达到429人，同比增长78.01%。

得(dé)益于公司对研发的重(zhòng)视(shì)及在研发投入上的不断加码(mǎ)，2023年，微导纳米新增各类专利申请146项，新增专(zhuān)利(lì)授(shòu)权35项，累计授权专利达到137项，逐步形成(chéng)了薄膜沉积反(fǎn)应器设计技术、基于(yú)原子层沉积(jī)的高效电池技术、柔性材料制备技术、薄膜封装技术等十大核心技术。

凭借坚持执行ALD+CVD等镀膜平台化战略，微导纳米正持续在新兴领域进行前沿化开(kāi)发，为公司未来发展创造更多收入增长极。此外(wài)，在(zài)技术协同效应进一步显现下，微导纳米通过跨行业的业务分积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%布，拥(yōng)有了较强(qiáng)的穿(chuān)越行业周期的能力，公司的抗风险能力得到进一步提升。未来，随着其他新兴技术市场的发展，微导纳米作为平台型的关键设备供应商(shāng)的优势将进一步显现。（齐和宁）

校(xiào)对：苏焕文

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